l 真正意義上的雙頻激光干涉儀,兩個(gè)光束的頻差為640MHz。請(qǐng)用戶(hù)注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別,眾所周知雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商,德國(guó)耶拿爾公司是其中的一家。
l 全部部件皆在德國(guó)生產(chǎn)制造,絕非為了降低成本而在第三方國(guó)家進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡,是世界上***一家將***的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。
l 激光器壽命更長(zhǎng),可達(dá)20000小時(shí),激光穩(wěn)頻精度高,一小時(shí)內(nèi)為±0.002ppm,在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。
l 干涉鏡采用差分干涉原理,系統(tǒng)精度更高,可達(dá)±0.4ppm。
l 計(jì)算機(jī)輔助光路調(diào)整,調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。
l 采樣頻率更快,***高達(dá)1MHz,可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。
l 被測(cè)物體***大速度16m/s(可選);采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器,分辨率達(dá)0.6nm(當(dāng)移動(dòng)速度為1m/s時(shí),線性分辨率更可高達(dá)為0.1nm)。
l 無(wú)加速度限制;當(dāng)光線微弱時(shí),性能也十分穩(wěn)定。
l 信號(hào)延時(shí)<200ns;對(duì)電磁干擾不敏感。
l 對(duì)于多軸聯(lián)動(dòng)的復(fù)雜光路測(cè)量和微位移測(cè)量,ZLM800型是理想的選擇。
以下是為國(guó)內(nèi)某研究所某項(xiàng)目設(shè)計(jì)的ZLM800測(cè)量系統(tǒng)。用戶(hù)預(yù)先把被測(cè)物體放置在密閉箱中,密閉箱留有觀察窗口。所需要測(cè)量的數(shù)據(jù)是被監(jiān)視目標(biāo)Ⅰ、被監(jiān)視目標(biāo)Ⅱ的X、Y向的角度變化量,以及這兩個(gè)目標(biāo)在Z方向的相對(duì)變化量。