高低溫探針臺晶圓測溫系統

智測電子TC-WAFER晶圓測溫系統應用于高低溫晶圓探針臺，測量精度可達mk級別，可以多區測量晶圓特定位置的溫度真實值，也可以精準描繪晶圓整體的溫度分布情況，還可以監控半導體設備控溫過程中晶圓發生的溫度變化，了解升溫、降溫以及恒溫過程中設備的有效性。

高低溫探針臺晶圓測溫系統是一種用于在高溫和低溫環境下對晶圓進行溫度測量和監測的設備。它通常由探針臺、溫度傳感器、控制單元和數據采集系統組成。

高低溫探針臺：高低溫探針臺是用于將晶圓放置在高溫或低溫環境中的平臺。它通常具有可調節的溫度范圍和穩定的溫度控制能力，以確保晶圓在所需的溫度條件下進行測量。

溫度傳感器：高低溫探針臺晶圓測溫系統使用溫度傳感器來測量晶圓的溫度。常見的溫度傳感器包括熱電偶、熱敏電阻和紅外線傳感器等。根據具體的應用需求和溫度范圍選擇合適的傳感器類型。

控制單元：控制單元用于控制高低溫探針臺的溫度，并監測溫度傳感器的輸出。它通常具有溫度設定、溫度穩定性控制和報警功能等。

數據采集系統：數據采集系統用于接收和記錄溫度傳感器的輸出數據。它可以實時顯示溫度數據，并提供數據記錄和分析功能。

高低溫探針臺晶圓測溫系統的應用范圍廣泛，包括半導體制造、材料研究、電子器件測試等領域。它可以提供準確的晶圓溫度測量和監測，幫助優化工藝參數，提高產品質量和性能。此外，它還可以用于研究材料在不同溫度條件下的性質和行為，以及測試電子器件在高低溫環境下的可靠性和性能。