產(chǎn)品功能
對(duì)各種產(chǎn)品和材料的表面平面度、粗糙度、波面性、面形輪廓、共面性、表面缺陷、研磨情況、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、蝕刻情況、彎曲變形情況等貌特征等進(jìn)行測(cè)量和分析。標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)的系統(tǒng)要求被測(cè)物體尺寸通常不大于150*100mm,更大的尺寸根據(jù)要求也可供貨。工作臺(tái)***大承載重量10Kg。
應(yīng)用范圍
* 精密機(jī)械加工、航空航天、汽車(chē)、造紙、鋼鐵、薄膜加工、半導(dǎo)體加工、MEMS、醫(yī)療行業(yè)等。
* 機(jī)械部件的平面度、形貌特征和輪廓測(cè)量,用來(lái)確定其表面的變化情況和材料損耗;
* 電子材料表面的平面度、翹曲度和粗糙度分析;
* 薄膜的厚度及涂層的高度測(cè)量等;
* BGA焊料球的共面性,封裝是否變形以及所有焊料球是否存在的檢查和分析;
* 化學(xué)蝕刻產(chǎn)品的測(cè)量,確定蝕刻深度和面積;
* 壓花材料平面特征分析,如合成材料皮革表面形狀測(cè)量分析;
* 絲印裝置涂層厚度測(cè)量,如電子產(chǎn)品和生物醫(yī)療器械等;
* 對(duì)軋制鋁膜和鋼板表面情況進(jìn)行三維分析;
* 法醫(yī)學(xué)上三維表面測(cè)量分析;
* 壓電陶瓷裝置的輪廓和表面測(cè)量;
* 牙齒的腐蝕和磨損情況分析;
* 醫(yī)學(xué)上的應(yīng)用,如人造皮膚的輪廓分析;
* 溝槽深度和截面分析;
* 激光蝕刻表面的雕刻深度;
* 各種柔軟材料、易腐蝕材料和傳統(tǒng)方式無(wú)法檢測(cè)的表面形態(tài)測(cè)量和分析;
* 其他各種小型部件的平面度、粗糙度和輪廓測(cè)量分析。
產(chǎn)品介紹
英國(guó)Scantron Industrial Products Ltd公司生產(chǎn)的光學(xué)式表面粗糙度輪廓儀Proscan 2100配有推力直線電機(jī),提高了掃描速度和運(yùn)行的平滑度,由于采用非接觸的測(cè)量方式,避免了對(duì)被測(cè)物體造成劃痕和磨損,尤其適用于各種柔軟材料、易腐蝕材料和傳統(tǒng)方式無(wú)法檢測(cè)的表面形態(tài)測(cè)量和分析。
光學(xué)式表面粗糙度輪廓儀Proscan 2100還配有實(shí)時(shí)機(jī)械控制軟件和Invar線性標(biāo)尺(熱脹冷縮系數(shù)非常低),光學(xué)傳感器***小分辨率為5nm,可掃描的***小數(shù)據(jù)點(diǎn)間隔為0.1微米。
Proscan 2100以花崗巖為支架,是快速、精準(zhǔn)、非接觸式的三維表面測(cè)量?jī)x器。廣泛應(yīng)用各種表面輪廓和形貌特征的精確測(cè)量和分析。高性能非接觸式光學(xué)傳感器掃面范圍是150mm(長(zhǎng))X100mm(寬),對(duì)被測(cè)件平面的掃描***多可達(dá)八百萬(wàn)個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)。配套軟件可以對(duì)各種測(cè)量參數(shù)進(jìn)行分析。
Proscan 2100配有多種可更換式非接觸光學(xué)傳感器,粗糙度***小測(cè)量范圍0-110μm,***大測(cè)量范圍0-50mm。
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Proscan 2100掃描儀
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Proscan全套系統(tǒng)
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Proscan 2100掃描頭
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工作原理:光學(xué)色差傳感器技術(shù)
通過(guò)光纖電纜,將白光從光源發(fā)生器里傳輸?shù)絺鞲衅魃稀鞲衅黝^部配有特制的透鏡,通過(guò)色差成像技術(shù),將白光轉(zhuǎn)換為其顏色分量,在被測(cè)物體表面上形成的光斑,再經(jīng)由傳感器返回到光譜分析儀。通過(guò)測(cè)量對(duì)焦點(diǎn)的波長(zhǎng),就可精確的測(cè)量出距離的大小。這是因?yàn)橥哥R按照不同的距離聚焦不同的顏色,而在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi),斑點(diǎn)的直徑保持不變的原理。
產(chǎn)品特點(diǎn)
* 花崗巖框架結(jié)構(gòu),受熱脹冷縮影響非常小,基本沒(méi)有振動(dòng)。
* 使用線性電機(jī)和優(yōu)質(zhì)工作臺(tái),電機(jī)與工作臺(tái)不相連,減少了噪聲振動(dòng)對(duì)掃描數(shù)據(jù)的影響。
* 電機(jī)質(zhì)量更輕,提高了運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)的平滑度和平靜度。
* 測(cè)量速度快,每秒可達(dá)1000個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn),分辨率達(dá)5nm。
* 傳感器采用可更換式設(shè)計(jì),方便各種粗糙高度材料的測(cè)量。
* 非接觸式測(cè)量,不對(duì)被測(cè)物體造成劃痕磨損,更加適用于對(duì)腐蝕性材料的測(cè)量。
* 掃描范圍為150*100mm,適用于對(duì)各種尺寸產(chǎn)品的輪廓測(cè)量,安裝簡(jiǎn)單。
* 矩陣式掃描方式,可對(duì)物體某個(gè)部位進(jìn)行單獨(dú)掃描,亦可對(duì)不規(guī)則形狀進(jìn)行測(cè)量。
* 功能強(qiáng)大的配套軟件,適用范圍廣,操作簡(jiǎn)單,方便對(duì)各種掃描數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。
* 使用ProForm軟件,可對(duì)材料磨損前和磨損后的輪廓差異情況進(jìn)行診斷和分析。
軟件特點(diǎn)
顯示特點(diǎn)
- 彩色三維或二維數(shù)據(jù)分析實(shí)時(shí)顯示
- 平面式視圖
- 自動(dòng)或手動(dòng)標(biāo)注刻度
- 視圖方向可隨意旋轉(zhuǎn)
矩陣式掃描
- 對(duì)單個(gè)部件進(jìn)行多行掃描
- 對(duì)安裝在夾具上的多個(gè)部件進(jìn)行自動(dòng)掃描
- 自動(dòng)生成掃描結(jié)果報(bào)告
保存、回取、導(dǎo)出和打印
- 從硬盤(pán)中上傳已保存的掃描數(shù)據(jù)
- 對(duì)兩個(gè)掃描結(jié)果進(jìn)行比較,顯示其差別
- 導(dǎo)出ASCII格式數(shù)據(jù),ZZZZ...LF & XYZLF...CR'a'或Matlab格式數(shù)據(jù)
- 彩色三維位圖
- 通過(guò)Windows打印管理器進(jìn)行打印
評(píng)定參數(shù)
Am 輪廓算術(shù)平均值
Ra 輪廓算術(shù)平均偏差
Rz(DIN) 峰谷高低平均值
Rz(ISO) 微觀不平度十點(diǎn)高度
Rmax 輪廓***大高度
Rp 平均輪廓波峰高度
Rq 粗糙度均值平均方根
Rpm 峰值高度***大值
Rvm 谷值深度***大值
R3z 算術(shù)平均第三峰谷間高度
Wt 波形深度總值
Pt 輪廓深度總值
Nr 峰值計(jì)數(shù)歸一
Tpi 輪廓支撐長(zhǎng)度率
Tpa 材質(zhì)率(宏)
D 峰值密度
S 輪廓單峰平均間距
Sm 輪廓微觀不平度平均間距
數(shù)據(jù)設(shè)定
- X、Y和Z三維視圖設(shè)定
- 二維X、Y平面視圖設(shè)定
- 用戶自定義三點(diǎn)平面修正
- 自動(dòng)平面修正
- 掃面圖形可全方位旋轉(zhuǎn)
- 共面性的計(jì)算
結(jié)果過(guò)濾
Warpage過(guò)濾器(可選)可清除表面粗糙情況,只保留輪廓。
Surface過(guò)濾器(可選)可清除表面輪廓,只保留粗糙情況。
形態(tài)測(cè)量
- 弧面的半徑計(jì)算
- 體積計(jì)算
- 表面積計(jì)算
- 截面積計(jì)算
- 臺(tái)階高度測(cè)量
- 角度計(jì)算
其他
- X、Y單獨(dú)掃描或X&Y同時(shí)掃描
- X軸***大掃描點(diǎn)數(shù):30000
- Y軸***大掃描點(diǎn)數(shù):30000
- X&Y軸掃描***大點(diǎn)數(shù):800萬(wàn)
- X軸數(shù)據(jù)點(diǎn)間隔范圍:0.1μm-9.999mm
- Y軸數(shù)據(jù)點(diǎn)間隔范圍:0.1μm-9.999mm
Proscan 2100主顯屏幕
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BGA球柵陣列表面掃描圖
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機(jī)械密封平面度掃描圖 |
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表面粗糙度掃描圖
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薄膜材料表面形態(tài)掃描圖
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孔端面的平面度掃描圖
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截面二維輪廓圖
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技術(shù)規(guī)范
X軸(長(zhǎng))
- 掃描的長(zhǎng)度范圍150mm
- 線性編碼器分辨率:20nm
- 數(shù)據(jù)點(diǎn)間隔***小增量:0.1μm
- 導(dǎo)軌:精密交叉式輥軸
- 線性度:25mm行程范圍內(nèi)0.5μm
- 定位精度:40nm
- ***大負(fù)載:5kg
- 線性電機(jī):完全非接觸式驅(qū)動(dòng)
Y軸(寬)
- 掃描的寬度范圍100mm
- 線性編碼器分辨率:20nm
- 數(shù)據(jù)點(diǎn)間隔***小增量:0.1μm
- 導(dǎo)軌:精密交叉式輥軸
- 線性度:25mm行程范圍內(nèi)0.5μm
- 定位精度:40nm
- ***大負(fù)載:4kg
- 線性電機(jī):完全非接觸式驅(qū)動(dòng)
Z軸(高)
- 150mm行程
- 絲杠電機(jī)驅(qū)動(dòng)
- 根據(jù)被測(cè)物體大小,手動(dòng)定位傳感器的高度
產(chǎn)品尺寸
- 尺寸:740*542*838mm (長(zhǎng)*寬*高),重量:79kg
電源
100-110/220或240VAC,50/60Hz
傳感器選型方案
傳感器
型號(hào)
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垂直
測(cè)量范圍
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物鏡測(cè)量距離
mm
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分辨率
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線性度
(%+/-量程)
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技術(shù)
原理
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S3/011
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110 μm
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3.3
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5 nm
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0.1
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白光色差技術(shù)
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S11/03
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300 μm
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11
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12 nm
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0.1
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白光色差技術(shù)
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S13/1.1
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1.1 mm
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12.7
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25 nm
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0.1
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白光色差技術(shù)
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S16/2.5
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2.5 mm
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16.4
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75 nm
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0.1
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白光色差技術(shù)
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S29/10
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10 mm
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29
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280 nm
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0.1
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白光色差技術(shù)
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S20/20
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20 mm
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19.6
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600 nm
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0.1
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白光色差技術(shù)
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L25/2H
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2 mm
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25
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0.1 μm
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0.05
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CCD三角測(cè)量技術(shù)
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L35/10H
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10 mm
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35
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0.5 μm
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0.03
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CCD三角測(cè)量技術(shù)
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L50/20H
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20 mm
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50
|
1 μm
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0.03
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CCD三角測(cè)量技術(shù)
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L70/50H
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50 mm
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70
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2.5 μm
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0.03
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CCD三角測(cè)量技術(shù)
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各種可選項(xiàng)
* 照明與定位攝像頭,用于小型部件的定位和缺陷檢查;
* 花崗巖橫梁,用于Proscan安裝;
* 其他各種傳感器;
* 仿制材料,用于對(duì)不容易進(jìn)入的區(qū)域或?qū)Ρ砻鏈y(cè)量有困難的產(chǎn)品的表面特征復(fù)制;
* 比標(biāo)準(zhǔn)配置中的X和Y測(cè)量范圍更大的應(yīng)用平臺(tái)。
視頻演示
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資料下載
光學(xué)式表面粗糙度輪廓儀2100.pdf