產品功能
對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、共面性、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、蝕刻情況、彎曲變形情況、加工情況、材料支撐率等表面形貌特征進行測量和分析。被測物體的尺寸通常不大于150*100mm，更大尺寸的測量系統可以定做；工作臺***大承載重量40Kg。
產品廣泛應用于汽車工業、航空航天、造紙工業、鋼鐵工業、薄膜加工、半導體加工、MEMS等行業。
應用范圍
* 機械密封的平面度和粗糙度測量；
* 電子元件表面的平面度、翹曲度和粗糙度測量分析；
* BGA焊料球的共面性、封裝是否變形以及所有的焊料球是否都存在的檢查分析；
* 造紙行業對紙張表面的紋理分析；
* 膜片的厚度及涂層的高度測量等；
* 化學蝕刻產品的蝕刻深度和面積測量；
* 壓花材料表面特征分析，如合成材料人造皮革表面形貌測量分析；
* 絲印裝置涂層厚度測量，如電子產品和生物醫療器械等；
* 軋制鋁膜和鋼板表面情況進行三維分析；
* 法醫學上三維表面形貌測量分析；
* 壓電陶瓷部件的輪廓和表面形貌特征測量分析；
* 牙齒的腐蝕和磨損情況分析；
* 醫學上如人造皮膚的輪廓分析；
* 溝槽深度和截面計算分析；
* 激光蝕刻表面的雕刻深度測量；
* 各種柔軟材料、易腐蝕材料、傳統接觸方式無法檢測的產品的表面形態測量和分析；
* 其他各種小型部件的平面度、粗糙度、波紋度和輪廓測量分析。
產品介紹
英國Scantron Industrial Products Ltd公司生產的Proscan 2000光學式表面粗糙度輪廓形貌儀，采用非接觸式傳感器掃描技術，用于對各種產品和部件的表面形貌特征進行測量和分析，它比傳統的探針式輪廓儀操作更方便，測量精度更高。由于采用非接觸無損的測量方式，避免了對被測物體造成劃痕和磨損，尤其適用于各種柔軟材料、易腐蝕材料和傳統方式無法檢測的表面形態測量和分析。
Proscan 2000光學式表面粗糙度輪廓形貌儀***大掃描速度可達到80mm/秒，每秒2000個數據點，每行可掃描20000個獨立的數據點，垂直測量分辨率***高可達到5nm，***小測量范圍0-110μm，***大測量范圍0-50mm。
Proscan 2000以花崗巖為工作平臺，是快速、精準、非接觸式的三維表面形態測量儀器。廣泛應用于各種表面輪廓和形貌特征精確測量分析的場合。高性能非接觸式光學傳感器掃面范圍是150mm（長）X100mm（寬），使用色差傳感器，每秒可測量1000個數據點，使用三角激光傳感器每秒可測量10000個數據點，對被測件平面的掃描點數***多可達576萬個數據點。配套軟件可以對各種測量參數進行分析。
產品特點
* 花崗巖框架結構，受熱脹冷縮影響非常小，基本沒有振動。
* 配套軟件可以以二維或三維的方式對數據進行形貌分析。
* 數據分析結果方便導出，導出格式有ASCII、ZZZZ...LF及XYZLF...CR’a’等。
* 數據分析也可選擇二維X-Y平面視圖，還具有三點平面修正和自動水平功能。
評定參數
Am 輪廓算術平均值
Ra 輪廓算術平均偏差
Rz（DIN） 峰谷高低平均值
Rz（ISO） 微觀不平度十點高度
Rmax 輪廓***大高度
Rp 平均輪廓波峰高度
Rq 粗糙度均值平均方根
Rpm 峰值高度***大值
Rvm 谷值深度***大值
R3z 算術平均第三峰谷間高度
Wt 波形深度總值
Pt 輪廓深度總值
Nr 峰值計數歸一
Tpa 材料支撐率（宏）
D 峰值密度
S 輪廓單峰平均間距
Sm 輪廓微觀不平度平均間距
Lm 取樣長度
共面性
Warpage濾波器，過濾表面粗糙度數據，而僅保留輪廓數據
Surface濾波器，過濾表面輪廓數據，而僅保留粗糙度數據
對單點進行編輯
在X和（或）Y軸上進行插值
半徑計算
體積計算
表面積計算
截面積計算
三維輪廓顯示
技術規范
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掃描儀***大尺寸（長*寬*高）
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740*542*（780-835）mm
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掃描儀***大重量
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40Kg
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電控部分尺寸
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570*700*750mm
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電控部分重量
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40Kg
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計算機顯示器
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15” LED顯示器
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照明與定位攝像頭（可選）
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14” CRT
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掃面平臺尺寸
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380*280mm
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X和Y軸行程
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150mm*100mm
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Z軸行程
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100mm
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電源
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220 - 240 VAC, 50/60Hz
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使用環境
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10-35℃
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X及Y軸掃描點***小間隔距離
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1μm
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X及Y軸掃描點***大間隔距離
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9.999mm
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標準配置掃描樣品***大重量
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6Kg
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數據采集***大速度（取決于傳感器及設定）
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20000點/秒
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***大掃描速度（取決于傳感器及設定）
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80mm/秒
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回程速度
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100mm/秒
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***大掃描點數
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576萬點
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傳感器選型方案
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傳感器
型號
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垂直
測量范圍
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物鏡測量距離
mm
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分辨率
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線性度
（%+/-量程）
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技術
原理
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S3/011
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110μm
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3.3
|
5 nm
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0.1
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白光色差技術
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S11/03
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300μm
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11
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12 nm
|
0.1
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白光色差技術
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S13/1.1
|
1.1 mm
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12.7
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25 nm
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0.1
|
白光色差技術
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S16/2.5
|
2.5mm
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16.4
|
75 nm
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0.1
|
白光色差技術
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S29/10
|
10mm
|
29
|
280 nm
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0.1
|
白光色差技術
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S20/20
|
20mm
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19.6
|
600 nm
|
0.1
|
白光色差技術
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L25/2H
|
2 mm
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25
|
0.1 μm
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0.05
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三角測量技術
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L35/10H
|
10 mm
|
35
|
0.5 μm
|
0.03
|
三角測量技術
|
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L50/20H
|
20 mm
|
50
|
1 μm
|
0.03
|
三角測量技術
|
|
L70/50H
|
50 mm
|
70
|
2.5 μm
|
0.03
|
三角測量技術
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各種可選項
* 照明與定位攝像頭，用于小型部件的定位和缺陷檢查；
* 其他各種傳感器；
* 仿制材料，用于對不容易進入的區域和對表面測量有困難的場合；
* 比標準的X和Y行程范圍更大的測量平臺。
產品尺寸圖
應用舉例
一、電子元件的形貌檢查
電子元件的原貌
對單個BGA的掃描結果
100%檢測BGA（包括穴距）和倒裝芯片的包裝情況，自動分析共面性、球面高度、球的位置和包裝扭曲情況；分析絲焊高度和輪廓；亞微米級分辨率，三維圖形顯示平均、***大和***小深度。
二、部件表面粗糙度測量
被測部件原貌
掃描后的結果分析
精確分析被測部件的表面紋理、波面度和形態特征，符合ISO和DIN的粗糙度國際參數分析標準，包括Ra、Rz、Rmax、Rq、Rvm、Rpm、Pt、Nr、D、Sm、Wt和Tpa等。可測量出平面度、表面積、體積、承載比和部件的精確尺寸。
三、紙張類表面的紋理分析
掃描前的產品原貌
掃描后的分析圖
對板材類、紙張類產品的表面進行紋理和形貌特征分析，自動計算各種表面分析的參數，如Ra、Rz、Rmax、Rvm、Rpm、Sm和材料比等，測量速度快，結果準確，操作簡單。
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